光刻机是将大规模集成电路或平板显示驱动电路图形投影到某材质表面上,并使得所需图形区域的光刻胶曝光，实现图形转移到涂有光刻胶的半导体晶圆或平板显示玻璃基板材质上的设备。也可以说，光刻机是在制造集成电路(包括led芯片)、平板显示的过程中，把工程师的设计“印入”基底材料使其成为功能电路的专用设备。

光刻机是是半导体集成电路、半导体分立件、半导体封装、平板显示(包括晶、am－oled、等离Loading...

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