而提到材料学,就不得不提到奠定了日本在密加工以及
密芯片行业的统治地位的另一个基础产业,那就是光刻机。
光刻机是生产大规模集成电路的心设备,制造和维护需要
度的光学和电
工业基础,世界上只有少数厂家掌握。因此光刻机价格昂贵,通常在3,000至5,0000万
元。
光刻机/紫外曝光机(maskaligner)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,
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