对准系统共有两，备调焦功能。主要就是由双目双视场对准显微镜主体、目镜和镜各1对（光刻机通常会提供不同放大倍率的目镜和镜供用户组合使用）。

而杨小乐对sony公司的ccd光元件这么兴趣、甚至不惜大丢脸面的垂涎三尺，就是为了将ccd应用在对准系统上，前世应用广泛的ccd对准系统作用是将掩模和样片的对准标记放大并成像于监视Loading...

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